大家常說的潔凈室到底是什么樣的?
潔凈室是控制污染的基礎(chǔ)。沒有潔凈室,就不可能批量生產(chǎn)敏感部件。在FED - STD - 2中,潔凈室定義為空氣過濾、分配、優(yōu)化、建筑材料和設(shè)備房,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,以達(dá)到適當(dāng)?shù)那鍧嵍人健?/p>
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和空氣分布、噪聲、振動(dòng)和照明、靜電控制在一定的范圍內(nèi)而設(shè)計(jì)的房間。也就是說,無論外部空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能保持原有的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能要求。
潔凈室的主要功能是控制產(chǎn)品所接觸的空氣的潔凈度和溫濕度,可以使產(chǎn)品在良好空間環(huán)境生產(chǎn)和制造,這個(gè)空間我們稱之為潔凈室。根據(jù)國際慣例,無塵凈化水平主要依據(jù)粒徑大于每立方米空氣分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物數(shù)量。也就是說,所謂的無塵不是百分之百?zèng)]有灰塵,而是控制在非常少的單位。當(dāng)然符合標(biāo)準(zhǔn)中粉塵顆粒的標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)于我們的普通粉塵來說是很小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,即使是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常負(fù)面的影響,所以對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)來說,清潔是必然的要求。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。中建南方潔凈室有根據(jù)潔凈度分10-100萬級(jí)。