在進(jìn)行使用無塵車間內(nèi)的設(shè)備的過程中設(shè)備要求不會自己產(chǎn)生灰塵，也不容易附著灰塵。像紙箱，普通抹布這類物品，都是嚴(yán)格禁止出現(xiàn)在車間內(nèi)的。如果是電子工業(yè)方面的凈化車間，還要對靜電進(jìn)行嚴(yán)格的控制，所以對與產(chǎn)品接觸的材料、工具、包裝物、防靜電的有要求。還有一個(gè)因素就是對于環(huán)境的要求，接下來我們詳細(xì)了解一個(gè)環(huán)境要求。

微生物含量的控制?？刂苾艋囬g環(huán)境中的微生物含量仍然是靠良好的空氣凈化系統(tǒng)設(shè)施，其過濾效率可以達(dá)到99.9%～99.99%地濾除空氣中的細(xì)菌和塵埃。出產(chǎn)中凈化車間內(nèi)溫度嚴(yán)格控制在18～26℃、相對濕度控制在45%～65%，以破壞有利于細(xì)菌的生長條件，加之消毒液的清潔消毒，環(huán)境控制作用令人滿意。

關(guān)于日常消毒液消毒，每天出產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機(jī)臺、桌面、門窗、墻壁等，用3%～5%的來蘇兒對地面擦拭消毒。每3天出產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對凈化車間內(nèi)所有設(shè)施表面及頂棚、照明等表面進(jìn)行擦拭消毒，3%～5%的來蘇兒對地面進(jìn)行消毒，目的是殺死因出產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)菌繁殖體，控制凈化車間內(nèi)微生物含量。

這些措施僅能控制凈化車間內(nèi)空氣中的細(xì)菌量及雜菌種類，如果霉菌較多，就要先用5%石碳酸全面噴灑室內(nèi)，然后用甲醛熏蒸才能達(dá)到無菌作用，并且只有這樣才能殺死細(xì)菌、雜菌芽孢。每個(gè)出產(chǎn)周期結(jié)束，下個(gè)周期出產(chǎn)前對有無菌要求的潔凈室先進(jìn)行消毒液消毒，檢測潔凈室內(nèi)塵埃粒子數(shù)符合規(guī)定后，再對凈化車間內(nèi)進(jìn)行甲醛氣體熏蒸，從長期檢測的結(jié)果來看，這種環(huán)境滅菌辦法作用很好。

相對濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體凈化車間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。到目前為止，在半導(dǎo)體凈化車間中迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的必須達(dá)到嚴(yán)格的水準(zhǔn)。

很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在凈化車間周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。潔凈車間的濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時(shí)也要看其房間的大小例如計(jì)量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。