潔凈室內(nèi)溫度如何調(diào)控?
凈化工程中的溫度需要怎樣才可以進行控制呢?在材質(zhì)上,其主要是可以通過凈化板才材質(zhì)影響的,也有專門的一些溫度調(diào)節(jié)裝置可以對凈化室內(nèi)部的空間溫度進行調(diào)控。
大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈車間都有嚴格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此,在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因為夏季室外空氣是高溫、高濕的),冬季要加熱加濕(因為冬季室外空氣是寒冷干燥的,室內(nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電,靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。
凈化工程具體工藝對溫度的要求,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越?。灰鬂穸戎狄话爿^低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)適宜溫度范圍為35—45%。
對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。
從凈化板手段的生產(chǎn)手法來看,假如加工手法比較準而且高效的話,其表面的溫度差也會產(chǎn)生變化。另外在潔凈室內(nèi)部的濕度控制上,對于數(shù)量的要求也會變低,我們需要知道操作人員在施工制備的時候,假如感覺到熱,出汗了那么對于潔凈室內(nèi)部的環(huán)境是會產(chǎn)生污染的,噴嚏等也會產(chǎn)生細菌,這也是潔凈室需要戴口罩的重要原因,而特別在是在生產(chǎn)半導體的類似車間中,其中溫度不能超過25°左右,否則無論對于自身的材質(zhì)還是其他方面都會可能產(chǎn)生有害物質(zhì),都是危害十分大的。